Требуется среднее профессиональное образование.
§ 37. Скрайбировщик пластин
3-й разряд
Характеристика работ. Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии на установках различных типов. Скрайбирование ситалловых пластин. Задание исходных параметров обрабатываемых пластин на наладочном пульте. Задание на пульте управления шага реза. Обломка пластин по габаритному размеру. Деление пластины на кристаллы после скрайбирования с помощью приспособлений. Точное деление пластин на кристаллы (вручную). Определение качества деления на глаз и под микроскопом. Разбраковка полученных кристаллов и контроль габаритов с помощью микрометра.
Должен знать: назначение, устройство и систему управления установки скрайбирования; правила пользования микроскопом; механические свойства полупроводниковых материалов; основные законы электротехники; основы оптики; технологические требования, предъявляемые к качеству и размерам кристаллов; правила пользования микрометром.
Примеры работ
1. Кристаллы - отбраковка замаркированных кристаллов с помощью магнитного сепаратора.
2. Пластины кремния и керамические - скрайбирование.
3. Пластины - ломка на кристаллы.
4. Подложки ситалловые - скрайбирование.
§ 38. Скрайбировщик пластин
4-й разряд
Характеристика работ. Скрайбирование пластин на кристаллы заданной геометрии с размерами разделяющей дорожки не более 100 мкм. Настройка установки и режущего инструмента (алмазного резца) на скрайбирование пластин заданных размеров. Контроль состояния резца под микроскопом. Самостоятельный выбор режимов резания. Замена режущего инструмента.
Должен знать: принцип работы полуавтоматов и автоматов для скрайбирования; методы настройки и наладки скрайберной установки; методы контроля величины усилия резца с помощью измерительного инструмента; требования, предъявляемые к качеству режущей кромки алмазного резца; методы контроля качества скрайбирования.
Примеры работ
Пластины - скрайбирование на установках типа "Алмаз".
§ 39. Фотограф прецизионной фотолитографии
3-й разряд
Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.
Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.
Примеры работ
1. Диэлектрик-металл-полупроводник и малые интегральные схемы - изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала; изготовление металлизированного эталонного фотошаблона.
2. Фотошаблоны пленочные - изготовление с белков.
3. Фотошаблоны односторонних печатных плат - изготовление.
4. Фотопластины - проявление на основе эмульсии сухого коллодиона.
5. Штриховые негативы - контактная печать на фотобумаге.
§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии
4-й разряд
Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.
Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.
Примеры работ
1. Двухсторонние оригиналы - настройка фотоаппарата на размер, фотографирование.
2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):
- проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);
- изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;
- подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;
- изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;
- исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.
3. Пленочный мультиплицированный фотошаблон - изготовление.
§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии
5-й разряд
Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.
Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.
Примеры работ
1. Аппаратура, узлы, детали контактных приборов с полутоновым изображением - контактное печатание фотоснимков, фотографирование для технической документации.
2. Групповые фотошаблоны плат, подлежащие обработке на штампах - изготовление.
3. Металлизированные эталонные фотошаблоны изделия БИС, СБИС - изготовление.
4. Полутоновые негативы на фотопластинках и фотопленках - обработка.
5. Сложные, эмульсионные, металлизированные, пленочные промежуточные оригиналы и фотошаблоны - изготовление и контроль качества их согласно требованиям конструкторской документации.
6. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов и позитивов по II классу точности.