Должен знать: устройство различных типов и конструкций основного и вспомогательного оборудования, применяемого для получения монокристаллов; методы составления и правила использования программ выращивания монокристаллов; виды термопар и область их применения; основы физики, химии, электро- и вакуумной техники, технологию получения чистых веществ.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 5. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент
6-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса выращивания монокристаллов различных материалов всеми известными методами. Ведение процесса выращивания опытных образцов монокристаллов. Освоение нового, более производительного технологического оборудования. Расчет шихты для плавки, введение в шихту лигатуры в соответствии с ее заданным составом с учетом сопротивления загруженных материалов. Наладка и обслуживание установок в процессе работы. Выявление неисправностей электрической части оборудования. Определение годности слитков монокристаллов.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность установок по выращиванию монокристаллов; методы и способы выращивания кристаллов из различных полупроводниковых материалов; виды и применение выращиваемых монокристаллов; основы кристаллографии; физико-химические и электрические свойства полупроводниковых материалов; различные расчеты, связанные с выполнением работ.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 6. Аппаратчик по обслуживанию рекуператоров и системы охлаждения
5-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса подогрева вторичного воздуха для циклонной печи и подогрева воздуха, идущего на сушку материалов. Регулирование температуры в цепи аппаратов газового тракта. Отбор проб. Наблюдение за монометрическим и температурным режимами аппаратов и выходом грубых возгонов (оборотных материалов), за поступлением воды в змеевики и кессоны водоохлаждаемых аппаратов. Переключение газопроводов. Выгрузка из аппаратов уловленной пыли. Очистка газопроводов и водоохлаждаемых поверхностей оборудования от осевших материалов. Обслуживание дробеочистки рекуператора, запорных и выпускаемых затворов, дросселей, задвижек и другого оборудования, участие в их ремонте. Охлаждение газов водой путем впрыскивания ее форсунками. Увлажнение и затаривание материалов.
Должен знать: устройство аппаратов, выпускных механизмов и другого обслуживаемого оборудования, их назначение и взаимодействие; влияние тяги и температуры газа на режим работы всего газового тракта цеха; схему газовой, воздушной и водяной коммуникаций; состав газов; виды и основные свойства возгонов и сырья; требования, предъявляемые к обслуживанию аппаратов.
При выполнении работ под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
§ 7. Аппаратчик по получению высокочистых материалов для полупроводникового производства
3-5 разряды
Характеристика работ. Ведение процессов очистки водорода от примесей и его осушки, получения заготовок из синтетической двуокиси кремния методом высокотемпературного гидролиза, термообработки заготовок (остекловывания), раздувки или обжига при изготовлении изделий и аппаратов требуемых геометрических размеров, доводка их вручную. Проверка герметичности коммуникаций. Продувка системы азотом. Подача очищенного водорода к печам восстановления. Обслуживание пульта управления очистки и вакуумных насосов. Контроль за температурой на адсорберах; блока очистки водорода. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья, полуфабрикатов, реактивов и их дозирование. Peгулирование температуры процесса, вакуума, подачи воды, газа. Приготовление растворов кислот и щелочей заданной концентрации. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание печей, аппаратов, механизмов, электроустановок, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение записи показателей работы обслуживаемого оборудования, хода технологического процесса. Постоянное поддержание технологической чистоты оборудования и рабочего места. Выявление устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Участие в ремонте механической части оборудования.
Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики, сигнализации и сосудов, работающих под давлением; физико-химические и технологические свойства применяемого сырья, полуфабрикатов, реактивов, газов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; физико-химические основы технологического процесса; технологическую схему производства; способы устранения неисправностей в работе, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники.
При выполнении работ по термической обработке заготовок (остекловыванию) и выполнении вспомогательных работ по очистке и осушке водорода - 3-й разряд.
При ведении процесса высокотемпературного гидролиза, раздувки и обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния; очистки и осушки водорода под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
При ведении процесса высокотемпературного гидролиза; раздувки или обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния, очистки и осушки водорода, наладки технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.
§ 8. Аппаратчик по производству и химической очистке полупроводниковых материалов
3-6 разряды
Характеристика работ. Ведение процессов получения хлоридов и других соединений и элементов, их химической и сорбционной очистки. Ведение процесса очистки полупроводниковых материалов методом электрорафинирования с предварительной гидрохимической обработкой. Ведение процесса получения гидроокиси и выделения полупроводниковых элементов методом электролиза из растворов. Ведение процесса нейтрализации сточных и промывных вод и обезвреживания отходящих газов до санитарных норм, разложения сплавов, отходов, концентратов и других материалов, содержащих полупроводниковые элементы и конденсации хлоридов. Отбор проб. Ведение процесса гидролиза хлоридов и осаждения солей, содержащих полупроводниковые элементы. Получение хлористого водорода и его соединений. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов и их дозирование, фильтрация, химическая и гидрохимическая обработка сырья. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание аппаратов, механизмов, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Снятие, дегазация, установка контрольно-измерительных приборов. Ведение технической документации, учет готовой продукции. Выявление и устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.
Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; способы устранения неисправностей в работе оборудования, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники; физико-химические и технологические свойства сырья, полуфабрикатов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; схему коммуникаций; технологическую схему производства.
При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.
При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза; ведении процессов ректификации хлоридов и силанов, очистки полупроводниковых элементов методом электрорафинирования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
При ведении процесса ректификации хлоридов и силанов при очистке полупроводниковых элементов методом электрорафинирования; при ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
При ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования - 6-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 9. Аппаратчик по химической обработке полупроводниковых материалов
2-4 разряд
Характеристика работ. Ведение процесса химической обработки металла, технологической оснастки, кварцевых изделий, тары в кислотах, щелочах и смеси кислот. Подготовка к травлению и сушка металла и изделий. Перегонка кислот, подготовка растворов кислот, щелочей и солей требуемой концентрации. Подготовка, наладка и обслуживание аппаратуры для химической обработки металла, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение технической документации. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.
Должен знать: технологию химической обработки исходных материалов, полупродуктов, полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; виды и свойства кислот, щелочей, солей и других реактивов и материалов, применяемых для химической обработки, правила обращения с ними и хранения; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико-химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию, вспомогательные материалы; правила работы с высокочистыми материалами; технологическую схему производства; основы физики, химии, химии чистых веществ в объеме программы средней школы; технологические карты и рабочие инструкции.
При выполнении вспомогательных работ по химической обработке полупроводниковых материалов, материалов интерметаллических соединений;
при химической обработке технологической оснастки и тары - 2-й разряд.
При химической обработке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; приготовлении исходных растворов для химической обработки; перегонке кислот - 3-й разряд.
При сложной химической обработке в двух и более травителях - 4-й разряд.
§ 10. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов
2-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса получения сплавов из благородных и редких металлов в электрической печи. Взвешивание на аналитических весах металлов, входящих в сплав. Обезжиривание сплавов, сушка. Подготовка ковша и загрузка кварцевых ампул навесками металлов. Изготовление электродных навесок коллектора из прецизионных сплавов. Проведение процессов литья электродных шариков коллектора, прокатка сплава коллектора и резка на электроды. Сортировка электродов по размерам, химическая обработка готовых электродов. Приготовление растворов для обработки.
Должен знать: принцип действия и блок-схему установки для литья; назначение и условия применения соответствующего вспомогательного оборудования; основные физико-химические свойства металлов, входящих в сплав; назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, приспособлений и инструментов, аналитических и технических весов; свойства материалов, используемых для обработки сплавов; оснастки (органические растворители, кислоты, щелочи), правила обращения с ними; правила приготовления растворов, смесей для обработки.
Примеры работ
Сплавы двух- и трехкомпонентные (свинец-серебро-олово; фосфор-индий-галлий; олово-свинец-сурьма; индий-сурьма-галлий; германий-сурьма-олово; свинец-индий, мышьяк-германий) - приготовление.
§ 11. Плавильщик-литейщик прецизионных сплавов
3-й разряд
Характеристика работ. Проведение процессов плавки благородных и редких металлов в печах различных типов с применением вакуумной установки для создания вакуума в кварцевых ампулах с навесками металлов, на установках приготовления сплавов и открытым способом в ковшах. Изготовление пластин литьем из высокотемпературных сплавов. Изготовление электродных навесок эмиттера и базы из прецизионных сплавов. Проведение процессов изготовления электродных шариков эмиттера и базы, прокатка сплава эмиттера и базы и резка на электроды. Приготовление шлифа. Устранение мелких неисправностей вакуумной установки.
Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемого оборудования электрической и водородной печей, вакуумных установок; устройство измерительной аппаратуры; основные свойства материала сплавов; технические требования на сплавы; основные понятия о механических и электрических свойствах материалов и деталей, идущих на сборку, элементарные понятия о процессах испарения и конденсации.
Примеры работ
1. Сплавы четырех- и пятикомпонентные (свинец-индийвисмут-сурьма-олово; свинец-висмут-сурьма-олово; свинец-индий-висмут-сурьма-галлий) - приготовление.
2. Сплавы шестикомпонентные (свинец-индий-висмут-сурьма-олово-галлий) - приготовление.