5) ограничивающими подъем и опускание колпака вакуумной камеры и обеспечивающими исключение случайного опускания колпака при загрузке и выгрузке деталей в камеру;
6) закрывающими клапан высоковакуумного насоса при внезапном отключении подачи электроэнергии;
7) отключающими подачу напряжения к вакуумной установке при снятии защитных стенок основания установки;
8) отключающими подачу технологических газов в случае повышения давления в камере выше заданного значения.
2.3.4.3. Для защиты глаз от повышенной яркости источника испарения при нанесении покрытий электронно-лучевым испарением следует применять защитные очки типа 0 или установить стекло типа НС по ГОСТ 9411 на смотровое окно вакуумной камеры.
2.3.4.4. Для защиты от рентгеновского излучения источника испарения при нанесении покрытий электронно-лучевым испарением стенки вакуумной камеры должны быть определенной толщины, а на смотровое окно вакуумной камеры должно быть установлено защитное стекло типа ТФ по ГОСТ 3514.
Толщины стенок камеры и стекла типа ТФ должны обеспечивать следующее требование безопасности при проведении технологического процесса:
мощность экспозиционной дозы неиспользуемого рентгеновского излучения в любой точке пространства на расстоянии 5 см от корпуса установки должна быть не более 0,07 мкР/с при 41-часовой рабочей неделе (0,08 мкР/с - при 36-часовой рабочей неделе) в соответствии с санитарными правилами работы с источниками неиспользуемого рентгеновского излучения, утвержденными Минздравом СССР [3].
2.3.4.5. Для защиты от электромагнитного излучения при нанесении покрытий высокочастотным ионно-плазменным распылением высокочастотный генератор, токоведущие части, а также зона разряда в вакуумной камере должны быть экранированы металлическими сетками или экранами. На смотровое окно вакуумной камеры должна быть установлена защитная металлическая сетка.
2.3.4.6. При применении в технологическом процессе криогенных сосудов следует соблюдать требования безопасности по нормативному документу.
Перед применением криогенного сосуда для заливки жидкого азота в ловушку вакуумной установки следует визуально убедиться в отсутствии внутри него влаги, масла, посторонних предметов.
Сжиженный газ следует переливать из криогенного сосуда через азотный питатель или горловину сосуда, наклоняя его или выдавливая сжатым воздухом под давлением не более 1 ат при помощи специального приспособления. При переливе металлическая воронка не должна соприкасаться со стенками сосуда. Трубка воронки должна быть длиннее горловины сосуда.
Азотный питатель следует вставлять в горловину сосуда медленно во избежание выброса азота в помещение.
Установку азотного питателя на сосуд, снятие и подключение его к ловушке следует производить в специальных рукавицах по ГОСТ 12.4.010 из асбестовой ткани по ГОСТ 6102.
2.3.4.7. При применении в технологическом процессе баллонов, наполненных технологическими газами (кислородом, аргоном и др.), следует соблюдать правила техники безопасности и производственной санитарии при производстве ацетилена, кислорода и газопламенной обработке металлов и правила устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением, утвержденные Госгортехнадзором СССР.
В помещении с вакуумными установками, в которых используют кислород, не допускается применять горючие газы (водород, ацетилен и др.) и проводить работы с применением масел и жиров.
Баллон со сжатым газом-кислородом должен находиться вне помещения в металлическом закрывающемся шкафу, установленном в затененном от солнца месте. Трубопровод от баллона к вакуумной установке должен быть снабжен редуктором и манометром.
При нанесении покрытий в вакуумной установке с паромасляным насосом давление в камере при использовании кислорода должно быть не более 1 х 10(-4) мм рт. ст.
2.3.4.8. После прекращения операции нанесения покрытия перед извлечением деталей из вакуумной камеры должна проводиться одно-, трехразовая прокачка камеры для удаления аэрозолей пленкообразующих материалов.
2.3.4.9. При открывании вакуумной камеры после операции нанесения покрытия следует пользоваться респираторами типов ШБ-1 "Лепесток" и РПГ-67А.
2.3.4.10. Извлечение деталей из вакуумной камеры допускается после их остывания до температуры не выше 45°С.
2.3.5. Термическая обработка покрытий
2.3.5.1. Требования безопасности при работе с электропечами по пп. 2.2.5.1, 2.2.5.2, 2.2.5.3.
2.4. Требования к режимам работы в аварийных ситуациях
2.4.1. Аварийная ситуация может возникнуть в следующих случаях:
короткое замыкание;
пожар в результате загорания электрооборудования;
отключение электроэнергии;
неисправность электрической или механической частей применяемого оборудования для нанесения покрытий;
прекращение подачи воды в охлаждаемую систему оборудования;
содержание вредных веществ в воздухе рабочей зоны превышает предельно допустимые концентрации;
течь воздуха в вакуумной установке.
2.4.2. При аварийной ситуации оборудование для нанесения покрытий должно быть отключено от энергосети, приняты меры по ликвидации аварии и оказанию помощи пострадавшим.
Об аварийной ситуации следует доложить в соответствующие службы предприятия.
2.4.2.1. При возникновении пожара следует отключить вентиляционную систему.
Для тушения загоревшегося электрооборудования следует применять огнетушители углекислотные типа ОУ и порошковые типа ОПУ, а также асбестовое одеяло.
Не допускается применять воду и пенные огнетушители.
2.4.2.2. При превышении ПДК вредных веществ в воздухе рабочей зоны работа должна быть прекращена, работающие должны покинуть помещения.
Должны быть приняты меры по дегазации помещения. В опасной зоне необходимо пользоваться респираторами типа РПГ-67А и защитными очками типа Г или противогазом.
2.5. Требования безопасности при проведении контрольных операций и разбраковке деталей
2.5.1. При контроле оптических характеристик детали с покрытием с помощью спектральных контрольно-измерительных приборов безопасные условия работы должны соответствовать требованиям п. 2.2.4.1.
Перед началом работы с прибором следует убедиться в исправности штепсельных разъемов и выключателей, надежности крепления заземляющего провода к корпусу прибора, отсутствии обрыва проводов.
2.5.2. При контроле чистоты поверхности детали с покрытием, требующим зрительного напряжения, на рабочем месте должно быть предусмотрено местное освещение; напряжение на светильниках местного освещения не должно превышать 42 В.
2.5.3. При контроле механической прочности с использованием органических растворителей следует соблюдать требования безопасности по пп. 2.1.3 и 2.2.2.1; при контроле с использованием прибора типа СМ-55 следует соблюдать требования безопасности по пп. 2.5.1 и 2.2.4.6.
2.5.4. При контроле детали с покрытием на климатические воздействия с использованием камер влажности и термокамер следует соблюдать требования электробезопасности по п. 2.2.4.1.
Устройство компрессоров и их эксплуатация должны соответствовать правилам устройства безопасной эксплуатации стационарных компрессорных установок, воздуховодов и газопроводов, утвержденным Госгортехнадзором СССР.
Камеры должны быть оборудованы звуковой и световой сигнализацией.
2.5.4.1. Перевод режима работы камер от высоких температур в сторону охлаждения должен осуществляться путем предварительного естественного охлаждения или путем нескольких ручных включений холодильной установки.
2.5.4.2. При контроле на воздействие повышенной температуры с использованием электропечей следует соблюдать требования безопасности по п. 2.2.5.1.
При контроле на воздействие пониженной температуры с использованием криогенных сосудов и жидкого азота следует соблюдать требования безопасности по п. 2.3.4.6.