ГОСТ Р 8.631-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки. стр. 3

- параллельность плоскости рельефной меры относительно направления строчной развертки РЭМ, что подтверждается равенством отрезков и на видеопрофилях, приведенных на рисунке 1б) и в).

Примечание - Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые проводят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма, настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы и др. Поэтому для каждого конструктивного исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую последовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.

8.2.6 Если после проверки по 8.2.5 не получены положительные результаты, то рельефную меру перемещают на рабочем столе РЭМ по линии элемента рельефа на расстояние, соответствующее размеру изображения. После этого операции по 8.2.3-8.2.5 повторяют.

Примечание - Необходимость перемещения объекта характерна для РЭМ с паромасляной системой откачки, в которых за время выполнения операций по 8.2.4 может произойти нарастание слоя загрязнений, искажающего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот эффект значительно слабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки к поверке. При оформлении результатов поверки делают запись о выполнении операций по 8.2.5 и 8.2.6.

8.3 Определение метрологических характеристик

В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 1б) и в).

8.4 Оформление протокола поверки

Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 1б) и в), оформляют в виде протокола. Форма протокола - произвольная. В протокол также записывают значения общей длины видеопрофиля и электронно-оптического увеличения РЭМ, определенных по 8.2.4а.

Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки РЭМ.

9 Обработка результатов измерений

9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала микроскопа

Для поверки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между контрольными точками, которое не зависит от эффективного диаметра электронного зонда при выполнении условия по 7.3. Расположение контрольных точек 1-4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на рисунке 1б) и в).

Ординату контрольной точки 1 вычисляют как полусумму ординат точек первого и второго изломов в направлении сканирования 0,5 пиксель.

Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого изломов в направлении сканирования 0,5 пиксель.

Ординату контрольной точки 3 вычисляют как полусумму ординат точек пятого и шестого изломов в направлении сканирования 0,5 пиксель.

Ординату контрольной точки 4 вычисляют как полусумму ординат точек седьмого и восьмого изломов в направлении сканирования 0,5 пиксель.

По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс контрольных точек 1-4.

9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков

Значения вспомогательных отрезков для низковольтных или высоковольтных РЭМ определяют по значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по 9.1:

, - разность значений абсцисс второй и первой контрольных точек и четвертой и третьей контрольных точек соответственно в пикселях;

, - разность значений абсцисс второго и первого изломов и восьмого и седьмого изломов на видеопрофиле соответственно в пикселях.

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ

Масштабный коэффициент видеоизображения , нм/пиксель, вычисляют по формуле

,

где - значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ

Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ , нм, вычисляют по формуле

,

где - масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

9.5 Погрешность измерений

Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по 9.3 и 9.4, составляют:

- для масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ относительная погрешность измерения - не более ±1,0%,

- для эффективного диаметра электронного зонда РЭМ абсолютные погрешности измерений в зависимости от значений приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Абсолютные погрешности измерений

590 × 153 пикс.     Открыть в новом окне

10 Оформление результатов поверки

10.1 Результаты поверки оформляют и виде свидетельства установленной формы, внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) на РЭМ и оттиском поверительного клейма, наносимого на РЭМ.

10.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) на РЭМ должны быть указаны значения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ и эффективного диаметра электронного зонда с погрешностями их измерений по 9.5, а также значения общей длины видеопрофиля и электронно-оптического увеличения РЭМ, определенные по 8.2.4а.

Библиография

[2]Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. N 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г., рег. N 4145)

[3]ПОТ РМ-016-2001, РД 153.34.0-03.150-00 Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок

[4]Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.4.1191-03Электромагнитные поля в производственных условиях

[5]Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы