8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 1б) и в).
8.2 Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 1б) и в), оформляют в виде протокола калибровки. Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки РЭМ.
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала микроскопа
Для калибровки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между контрольными точками, которое не зависит от эффективного диаметра электронного зонда при выполнении условия по 7.7.
Расположение контрольных точек 1-4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на рисунке 1б) и в).
Ординату контрольной точки 1 вычисляют как полусумму ординат точек первого и второго изломов в направлении сканирования 0,5
в пикселях.
в пикселях. Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого изломов в направлении сканирования 0,5
в пикселях.
в пикселях. Ординату контрольной точки 3 вычисляют как полусумму ординат точек пятого и шестого изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
в пикселях. Ординату контрольной точки 4 вычисляют как полусумму ординат точек седьмого и восьмого изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
в пикселях. По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс контрольных точек 1-4.
9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
Значения вспомогательных отрезков для низковольтных или высоковольтных РЭМ определяют по значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по 9.1:
, 
- разность значений абсцисс второй и первой контрольных точек и четвертой и третьей контрольных точек соответственно в пикселях;
, 
- разность значений абсцисс второго и первого изломов и восьмого и седьмого изломов на видеопрофиле соответственно в пикселях. 9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ
Масштабный коэффициент видеоизображения 
, нм/пиксель, вычисляют по формуле
, нм/пиксель, вычисляют по формуле
, где 
- значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
- значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм; , - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель. 9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ
Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ 
, нм, вычисляют по формуле
, нм, вычисляют по формуле
, где - масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;
- масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, нм/пиксель; , - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.10 Оценка неопределенности измерений параметров
10.1 Суммарную стандартную неопределенность 
, нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ вычисляют по формуле
, нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ вычисляют по формуле  | |
| 281 × 53 пикс. Открыть в новом окне | |
где 
- стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
- стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
- масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;
, 
- стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа по видеопрофилю, пиксель; , - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель. Примечание - Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значения и принимают равными 0,5 пиксель.
осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значения и принимают равными 0,5 пиксель. 10.2 Суммарную стандартную неопределенность 
, нм, измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ , вычисляют по формуле
, нм, измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ , вычисляют по формуле  | |
| 367 × 41 пикс. Открыть в новом окне | |
где , - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель;
, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель; - суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, вычисленная по 10.1, нм/пиксель; - масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;
, 
- стандартные неопределенности измерений расстояний между контрольными точками. Примечание - При равномерном квантовании видеосигнала значения и принимают равными 0,5 пиксель.
и принимают равными 0,5 пиксель.11 Оформление результатов калибровки
11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата о калибровке установленной формы [7] с соответствующей записью об этом в паспорте (формуляре) на РЭМ и удостоверяют калибровочным знаком, наносимым на РЭМ.
11.2 В сертификате о калибровке и в паспорте (формуляре) на РЭМ должны быть приведены значения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ и эффективного диаметра электронного зонда РЭМ . Для перечисленных метрологических характеристик РЭМ необходимо также указать значения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.
и эффективного диаметра электронного зонда РЭМ . Для перечисленных метрологических характеристик РЭМ необходимо также указать значения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.Библиография
[1] ПР 50.2.018-95 Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аккредитации метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровочных работ
[2] Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. N 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г., рег. N 4145)
[3] ПОТ РМ-016-2001 РД 153.34.0-03.150-00 Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок
[4] Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.4.1191-03 Электромагнитные поля в производственных условиях
[5] Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03 Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы
[6] РМГ 43-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Применение "Руководства по выражению неопределенности измерений"