Условия и время промывания и сушки устанавливают в ТУ.
8.21.3 Проведение испытания
На микроинтерферометре при увеличении, указываемом в ТУ, рассматривают указываемый в ТУ модуль изображения фотошаблона-теста. В поле зрения микроскопа вводят группу элементов указываемой в ТУ ширины, находящихся на поле фрагмента, цвет и номер которого указывают в ТУ.
8.21.4 Результаты испытания считают положительными, если на рассматриваемом участке поля фрагмента не наблюдается отслаивание отдельных элементов задаваемой в ТУ ширины.
8.22 Контроль широты процесса экспонирования пленки резиста
8.22.1 Широту процесса экспонирования пленки фоторезиста определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.22.2 Результаты испытания считают положительными, если широта процесса экспонирования соответствует значениям, устанавливаемым в ТУ.
8.23 Контроль линейности маски пленки фоторезиста
8.23.1 Линейность маски пленки фоторезиста определяют методом, установленным в ТУ.
8.23.2 Результаты испытания считают положительными, если линейность маски пленки фоторезиста соответствует установленной в ТУ.
8.24 Испытания на сохраняемость
8.24.1 Испытания проводят методом длительного хранения в закрытых отапливаемых помещениях, снабженных приточно-вытяжной вентиляцией, при температуре (20±5) °С и относительной влажности воздуха 45%-80%.
8.24.2 По истечении срока сохраняемости проводят испытания в объеме приемосдаточных.
8.24.3 Результаты испытаний считают положительными, если резист соответствует требованиям, установленным в настоящем стандарте и ТУ.
8.25 Испытание упаковки и маркировки
8.25.1 Проверка внешнего вида и маркировки тары
8.25.1.1 Внешний вид потребительской и транспортной тары, а также ее маркировки проверяют визуальным осмотром.
8.25.1.2 Тару считают выдержавшей испытания, если ее внешний вид и маркировки соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.25.2 Проверка конструкции и размеров тары
8.25.2.1 Конструкцию тары проверяют сличением с конструкторской документацией.
Габаритные размеры тары проверяют любым средством измерения с точностью, устанавливаемой в ТУ.
8.25.2.2 Тару считают выдержавшей испытания, если конструкция и размеры тары соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.25.3 Испытание упаковки на прочность
Испытание упаковки на прочность проводят методом, установленным в НД на материалы электронной техники, ТУ или ПИ.
8.25.4 Испытание упаковки на воздействие пониженного атмосферного давления
Испытание упаковки на воздействие пониженного атмосферного давления проводят методом, установленным в НД на материалы электронной техники, ТУ или ПИ.
8.25.5 Упаковку считают выдержавшей испытания, если при визуальном осмотре не обнаружено механических повреждений упаковки, ухудшающих ее защитные свойства.
9 Транспортирование и хранение
9.1 Резисты следует транспортировать в соответствии с требованиями, установленными ГОСТ 3885 и настоящем разделе.
9.1.1 Транспортирование резистов в упаковке, предусмотренной настоящим стандартом и ТУ, должно осуществляться в соответствии с действующими правилами перевозки опасных и воспламеняющихся грузов всеми видами транспорта.
Допустимую температуру при транспортировании указывают в ТУ.
9.1.2 Расстановка и крепление транспортной тары с упакованным резистом в транспортных средствах должна обеспечивать ее устойчивое положение и отсутствие перемещения во время транспортирования.
9.2 Хранить резисты в транспортной или потребительской таре изготовителя следует в закрытых складских затемненных помещениях, снабженных приточно-вытяжной вентиляцией, при температуре хранения и влажности, устанавливаемых в ТУ.
9.2.1 Не допускается совместное хранение резиста с радиоактивными веществами, светящимися веществами постоянного действия, высокоагрессивными растворителями и газами.
9.2.2 Резист должен храниться на расстоянии не менее 1 м от отопительных приборов.
10 Указания по применению
10.1 Работы с резистами должны проводиться только в чистых помещениях класса чистоты не ниже Р5 по ГОСТ Р 50766 при следующих условиях окружающей среды:
- температуре (20±5) °С;
- относительной влажности 45%-60%;
- неактиничном освещении с яркостью, устанавливаемой в ТУ.
10.2 При работе с резистом следует предохранять его от попадания влаги, твердых частиц и других загрязнений.
10.3 В ТУ на конкретный резист должны быть указаны:
- порядок подготовки резиста к использованию (необходимость фильтрования, размер фильтров для получения пленки с допустимой дефектностью, допустимое время хранения отфильтрованного резиста, необходимость повторного фильтрования оставшегося резиста и др.);
- способы и режимы формирования пленки заданной толщины (зависимость толщины пленки резиста от скорости вращения центрифуги при постоянной вязкости, зависимость толщины пленки резиста от вязкости при постоянной скорости вращения центрифуги);
- правила разбавления резиста для получения более тонких пленок, состав разбавителя, если он не поставляется в комплекте с резистом, условия разбавления (с конкретным примером);
- условия и режимы сушки пленки резиста после операции нанесения резиста;
- требования к источнику излучения (вид источника, спектральный состав излучения, уровень энергии экспонирования);
- правила подбора оптимального времени экспонирования (с конкретным примером);
- состав проявителя, рекомендации по его приготовлению, если он не поставляется в комплекте с резистом, условия и время проявления пленки (с конкретным примером), правила подбора оптимального режима проявления, срок годности проявителя, порядок проверки качества проявления;
- условия и режимы сушки (задубливания) пленки резиста после операции проявления;