8.16.2.2 Результаты испытания считают положительными, если форма и размеры элементов соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.17 Контроль чувствительности пленки электронорезиста к потоку электронов
8.17.1 Чувствительность пленки электронорезиста к потоку электронов определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.17.2 Результаты испытания считают положительными, если чувствительность пленки электронорезиста соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.18 Контроль устойчивости пленки резиста в проявителе
8.18.1 Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе
Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе оценивают временем полного растворения неэкспонированной пленки фоторезиста в процессе выдержки ее в проявителе.
8.18.1.1 Применяемое оборудование (установку экспонирования, сушильный шкаф, термостатирующее устройство), средства измерения, материалы и реактивы указывают в ТУ.
8.18.1.2 Проведение испытаний
Подготовленные согласно 8.1.6 пластины экспонируют на установке экспонирования через фотошаблон-тест согласно инструкции по эксплуатации.
Проэкспонированные пластины, количество которых указывают в ТУ, помещают в ванну с раствором проявителя, включают секундомер и выдерживают до полного растворения пленки фоторезиста.
Химический состав проявителя, его температуру и количество указывают в ТУ.
За результат испытаний принимают среднеарифметическое значение трех параллельных определений времени полного растворения пленки фоторезиста с точностью, устанавливаемой в ТУ.
8.18.1.3 Результаты испытания считают положительными, если устойчивость пленки фоторезиста в проявителе соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.18.2 Устойчивость пленки электронорезиста в проявителе
Устойчивость пленки электронорезиста в проявителе определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.18.2.1 Результаты испытаний считают положительными, если устойчивость пленки электронорезиста в проявителе соответствует устанавливаемой в ТУ.
8.19 Контроль теплостойкости проявленного рельефа пленки резиста
Теплостойкость проявленного рельефа оценивают по сохранению конфигурации элементов изображения после выдержки пластины с проявленным рельефом при заданной температуре в течение определенного времени.
8.19.1 Применяемое оборудование (микроскоп, сушильный шкаф), средства измерения указывают в ТУ.
8.19.2 Проведение испытания
Подготовленные пластины со сформированным в пленке фоторезиста изображением фотошаблона-теста помещают горизонтально в нагретый сушильный шкаф.
Методику подготовки пластин, их количество, температуру нагрева и время выдержки указывают в ТУ.
Пластины извлекают из сушильного шкафа, дают им остыть до комнатной температуры и под микроскопом при увеличении, указываемом в ТУ, рассматривают группу элементов прямоугольной формы, находящихся на поле фрагмента, указываемого в ТУ.
8.19.3 Результаты испытания считают положительными, если теплостойкость проявленного рельефа пленки фоторезиста соответствует указываемой в ТУ.
8.20 Контроль способности фоторезистной маски обеспечивать защиту поверхности подложки в условиях глубинного травления кремния в кислотном травителе
8.20.1 Применяемое оборудование (установка совмещения и экспонирования, установка для травления барботированием, сушильный шкаф, термостатирующее устройство), средства измерения, материалы и реактивы указывают в ТУ.
8.20.2 Подготовка к проведению испытания
Подготавливают буферный травитель и травитель для кремния. Способ приготовления травителей, их состав и концентрацию указывают в ТУ.
Проводят подготовку защитной маски на пластинах с нанесенной на них пленкой резиста согласно 8.1.6.
Пластины с пленкой резиста экспонируют через шаблон дозой, устанавливаемой в ТУ.
Проэкспонированные пластины выдерживают в проявителе. Температуру проявителя, его состав и время выдержки указывают в ТУ.
Затем пластины промывают, сушат на центрифуге и в сушильном шкафу в режимах, указываемых в ТУ. Для удаления окиси кремния со свободных от фоторезиста участков пластины помещают в ванну с буферным травителем. Пластины выдерживают в травителе в течение времени, необходимого для полного удаления окиси кремния. После окончания травления пластины промывают дистиллированной водой и сушат на центрифуге. Обратную сторону пластин покрывают защитным лаком и затем сушат их в сушильном шкафу.
8.20.3 Проведение испытания
Испытания проводят на трех пластинах, подготовленных по 8.1.6 и 8.20.2, на установках для травления барботированием.
Пластины помещают в кассету для травления, погружают в стакан с травителем для кремния и включают секундомер. Время травления пробельных элементов для пластин с защитной маской указывают в ТУ.
После окончания травления кассету с пластинами извлекают, промывают в дистиллированной воде и сушат.
Для удаления защитной маски кассету с пластинами погружают в емкость с диметилформамидом, которую, в свою очередь, помещают в водяную баню и нагревают баню до кипения. Время выдержки в бане указывают в ТУ. После этого кассету с пластинами извлекают, промывают в дистиллированной воде и сушат на центрифуге.
8.20.4 Обработка результатов
Способность фоторезистовой маски обеспечивать защиту поверхности в травителе для кремния оценивают по внешнему виду окисла кремния после травления и удаления защитной маски.
На микроскопе при увеличении, указываемом в ТУ, рассматривают поверхность окисла кремния, находившуюся при травлении под слоем защитной маски.
8.20.5 Результаты испытания считают положительными, если на рассмотренной поверхности окисла кремния после травления в течение времени, устанавливаемого в ТУ, не наблюдаются дефекты в виде радужных пятен и разводов.
8.21 Контроль адгезии пленки резиста к подложке
Адгезию пленки резиста к окиси кремния оценивают по сохранению на подложке сформированных элементов заданной ширины после выдерживания пластины с пленкой резиста в проявителе в течение трехкратного времени проявления.
8.21.1 Применяемое оборудование (установку совмещения и экспонирования, микроинтерферометр), средства измерения (секундомер, термометр, фотошаблон-тест, посуду), материалы и реактивы указывают в ТУ.
8.21.2 Подготовка к испытанию
Пленку резиста, нанесенную на пластины, подготовленные по 8.1.6, экспонируют на установке экспонирования через фотошаблон-тест в соответствии с инструкцией по эксплуатации в течение времени, устанавливаемого в ТУ.
Пластины помещают в ванну с проявителем и выдерживают в течение трехкратного времени проявления.
Состав проявителя указывают в ТУ.
Пластины извлекают из проявителя, промывают в дистиллированной воде и сушат.