| Номер пластины | Доза экспонирования  , мДж/см | Остаточная толщина пленки, мкм |
| 1 |  |  |
| 2 |  |  |
| ….. | …… | …… |
 |  |  |
8.15.3.2 Метод измерения оптической плотности
Для каждой -й пластины измеряют оптическую плотность пленки фоторезиста после экспонирования, а затем после выдержки в проявителе.
-й пластины измеряют оптическую плотность пленки фоторезиста после экспонирования, а затем после выдержки в проявителе. Измерение оптической плотности проводят при длине волны, указываемой в ТУ, на спектрометре, руководствуясь инструкцией по эксплуатации.
В качестве эталона сравнения используют чистую пластину.
Результаты определения оптической плотности пленки представляют в виде таблицы 7.
Таблица 7 - Оптическая плотность пленки фоторезиста в зависимости от дозы экспонирования
| Номер пластины | Доза экспонирования  , мДж/см | Оптическая плотность | |
 |  | ||
| 1 | |  |  |
| 2 | |  |  |
| … | …. | ……… | ………… |
| | |  |  |
Для каждой -й пластины вычисляют значение остаточной толщины пленки , мкм, по формуле
-й пластины вычисляют значение остаточной толщины пленки , мкм, по формуле 
, (13) где 
- исходная толщина пленки, мкм;
- исходная толщина пленки, мкм; - оптическая плотность, измеренная для -й пластины после выдержки в проявителе; - оптическая плотность, измеренная для -й пластины после экспонирования дозой, равной . 8.15.4 Обработка результатов
Для обработки используют только те результаты определения остаточной толщины, для которых значения находятся в диапазоне от 0,1 до ( - 0,1) мкм.
находятся в диапазоне от 0,1 до ( - 0,1) мкм. Для обработки должно быть использовано не менее шести результатов определения .
. Вычисляют коэффициенты 
и 
модели зависимости
и модели зависимости 
. (14) Коэффициент , мкм, вычисляют по формуле
, мкм, вычисляют по формуле  | |
| 244 × 99 пикс. Открыть в новом окне | |
Коэффициент , мкм·см /мДж, вычисляют по формуле
, мкм·см /мДж, вычисляют по формуле  | |
| 219 × 99 пикс. Открыть в новом окне | |
где - доза экспонирования 
-й пластины, мДж/см ;
- доза экспонирования -й пластины, мДж/см ; - остаточная толщина пленки для -й пластины, мкм; 
- число пластин, взятых для расчета. Остаточную дисперсию модели Д
вычисляют по формуле
вычисляют по формуле Д
. (17)
 | |
| 332 × 48 пикс. Открыть в новом окне | |
Остаточная дисперсия не должна превышать предельно допустимого значения, равного 0,00414.
Если значение остаточной дисперсии превышает предельно допустимое значение, испытания повторяют (при проведении испытаний допущена грубая ошибка).
Светочувствительность пленки фоторезиста 
, мДж/см , вычисляют по формуле
, мДж/см , вычисляют по формуле 
, (18) где и - коэффициенты, вычисленные по формулам (15) и (16) соответственно.
и - коэффициенты, вычисленные по формулам (15) и (16) соответственно. Гамма-контраст вычисляют по формуле
, (19) где - коэффициент, вычисленный по формуле (15), мкм;
- коэффициент, вычисленный по формуле (15), мкм; - исходная толщина пленки фоторезиста, мкм. 8.15.5 Результаты испытаний считают положительными, если гамма-контраст пленки фоторезиста соответствует устанавливаемому в ТУ.
8.16 Контроль разрешающей способности пленки резиста
8.16.1 Контроль разрешающей способности пленки фоторезиста
Разрешающую способность (минимальную ширину воспроизводимого элемента) определяют путем получения контактным способом изображения фотошаблона-теста, контролируя геометрическую форму и размеры элементов.
8.16.1.1 Применяемое оборудование (установку экспонирования, сушильный шкаф, микроскоп), средства измерений, материалы и реактивы устанавливают в ТУ.
8.16.1.2 Подготовка к испытанию
Подготовленные согласно 8.1.6 пластины экспонируют через фотошаблон-тест согласно инструкции по эксплуатации установки экспонирования.
Оптимальное значение экспозиции, время проявления и сушки пластин устанавливают в ТУ.
8.16.1.3 Проведение испытания
На полученном изображении фотошаблона-теста с помощью микроскопа при увеличении, указываемом в ТУ, рассматривают указываемый в ТУ модуль. В поле зрения микроскопа вводят группу из трех прямоугольников (“вилку”) фрагмента, указываемого в ТУ, находящуюся в столбце, соответствующем отклонению от номинального значения, указанного в паспорте на фотошаблон-тест, и в строке, номер которой соответствует значению минимальной ширины воспроизводимого элемента, указанного в ТУ на конкретный резист.
Контроль выполнения размеров проводят в соответствии с технологической инструкцией на фотошаблон-тест.
8.16.1.4 Результаты испытания считают положительными, если форма и размеры элементов соответствуют устанавливаемым в ТУ.
8.16.2 Контроль разрешающей способности пленки электронорезиста
8.16.2.1 Контроль разрешающей способности пленки электронорезиста проводят методом, устанавливаемым в ТУ.