8.9.1.2 Подготовленную в соответствии с 8.1.6 пластину помещают в ванночку с раствором гидроксида калия и фиксируют время полного удаления неэкспонированной пленки фоторезиста.
Молярную концентрацию и температуру раствора гидроксида калия указывают в ТУ.
8.9.1.3 Обработка результатов
Контраст проявления пленки фоторезиста 
, относительные единицы, вычисляют по формуле
, относительные единицы, вычисляют по формуле , (7) где - время полного удаления неэкспонированной пленки фоторезиста, с;
- время полного удаления неэкспонированной пленки фоторезиста, с; - оптимальное время проявления, с. За результат испытания принимают среднеарифметическое результатов двух параллельных определений.
8.9.1.4 Результаты испытаний считают положительными, если контраст проявления пленки фоторезиста соответствует значению, устанавливаемому в ТУ.
8.9.2 Контроль контраста проявления пленки электронорезиста
8.9.2.1 Контраст проявления пленки электронорезиста определяют методом, устанавливаемым в ТУ.
8.9.2.2 Результаты испытаний считают положительными, если контраст проявления пленки электронорезиста соответствует значению, устанавливаемому в ТУ.
8.10 Контроль массовой доли сухого остатка
Массовую долю сухого остатка в резисте определяют, удаляя растворитель в сушильном шкафу.
8.10.1 Применяемый тип вакуумного сушильного шкафа, средства измерения, посуду и реактивы указывают в ТУ.
8.10.2 Проведение испытания
Навеску резиста массой, указываемой в ТУ, берут пипеткой, быстро переносят в стаканчик, предварительно высушенный до постоянной массы в эксикаторе над прокаленным хлористым кальцием. Стаканчик закрывают крышкой и взвешивают. Затем открытый стаканчик с навеской испытуемого резиста, распределенного ровным слоем по дну стаканчика, и крышку помещают в вакуумный сушильный шкаф и сушат при температуре, давлении и времени, указываемым в ТУ. После этого стаканчик помещают в эксикатор и выдерживают 15-20 мин.
Проводят первое взвешивание закрытого стаканчика после сушки.
Продолжают сушку резиста в сушильном шкафу при тех же режимах, взвешивая стаканчик через каждый час высушивания, до достижения постоянной массы (разность между двумя значениями массы при взвешивании не должна превышать 0,0005 г).
8.10.3 Обработка результатов
Массовую долю сухого остатка , %, вычисляют по формуле
, %, вычисляют по формуле , (8) где - масса стаканчика с остатком после высушивания, г;
- масса стаканчика с остатком после высушивания, г; - масса стаканчика, г; - масса навески резиста, г. За результат принимают среднеарифметическое значение двух параллельных определений, предельно допустимое расхождение между которыми не должно превышать 0,5%.
8.10.4 Результаты испытания считают положительными, если массовая доля сухого остатка соответствует нормам, устанавливаемым в ТУ.
8.11 Контроль массовой доли НХД-групп в пересчете на сухой остаток
Массовую долю НХД-групп в фоторезисте определяют по оптической плотности раствора фоторезиста в максимуме поглощения.
8.11.1 Применяемое оборудование и средства измерения (спектрофотометр, весы), посуду и реактивы указывают в ТУ.
8.11.2 Подготовка к испытанию
8.11.2.1 Приготовление раствора фоторезиста
Навеску испытуемого фоторезиста отвешивают из пипетки в мерную колбу, растворяют и тщательно перемешивают.
Массу навески фоторезиста, состав и количество растворителя указывают в ТУ.
8.11.2.2 Определение поправки к шкале оптической плотности спектрофотометра
Измеряют на спектрофотометре оптические плотности двух калибровочных растворов, приготовленных из параллельных навесок хромовокислого калия, относительно раствора гидроксида калия молярной концентрации (КОН)=0,05 моль/дм в кюветах толщиной поглощающего свет слоя 10 мм в максимуме оптического поглощения калибровочного раствора ( =375 нм).
двух калибровочных растворов, приготовленных из параллельных навесок хромовокислого калия, относительно раствора гидроксида калия молярной концентрации (КОН)=0,05 моль/дм в кюветах толщиной поглощающего свет слоя 10 мм в максимуме оптического поглощения калибровочного раствора ( =375 нм). Поправку к шкале оптической плотности спектрофотометра определяют по формуле
определяют по формуле , (9) где 0,99 - значение стандартной оптической плотности калибровочного раствора;
- среднеарифметическое двух параллельных значений оптической плотности калибровочных растворов, расхождение между которыми не должно превышать 0,02. 8.11.3 Проведение испытания
Измеряют оптическую плотность приготовленного по 8.11.2.1 раствора фоторезиста относительно растворителя в устанавливаемом в ТУ интервале длин волн и при толщине поглощающего свет слоя.
По полученным данным находят оптическую плотность раствора фоторезиста в максимуме поглощения - .
. 8.11.4 Обработка результатов
Массовую долю НХД-групп в фоторезисте в пересчете на сухой остаток , %, вычисляют по формуле
, %, вычисляют по формуле , (10) где 249,2 - молярная масса НХД-групп, г/моль;
- оптическая плотность раствора фоторезиста в максимуме поглощения; - поправка к шкале оптической плотности спектрофотометра; 8025 - молярный коэффициент экстинкции фрагмента молярной массой 249,2 г/моль при длине волны (400±3) нм, см /моль;
/моль;