8.2.1 Применяемую лабораторную посуду указывают в ТУ.
8.2.2 Проведение испытания
5-7 см
резиста через воронку наливают в прозрачный стеклянный цилиндр и рассматривают в проходящем свете.
резиста через воронку наливают в прозрачный стеклянный цилиндр и рассматривают в проходящем свете. Внешний вид резиста должен соответствовать требованиям, устанавливаемым в ТУ.
Примечание - При необходимости в процессе контроля применяют увеличительные средства (лупы, очки, микроскопы и т.п.) с увеличением, указываемым в ТУ.
8.3 Контроль фильтруемости
8.3.1 Фильтруемость резиста определяют методом измерения уменьшения скорости истечения резиста через мембранный фильтр при постоянном давлении фильтрования.
8.3.2 Применяемое оборудование (устройство для фильтрования резиста, фильтродержатель, стабилизатор давления), фильтры, средства измерения (весы, секундомер, манометр), посуду, реактивы указывают в ТУ.
8.3.3.Подготовка к испытанию
8.3.3.1 Соединяют фильтродержатель и устройство для фильтрования резиста в соответствии со схемой, указываемой в ТУ, промывают органическим растворителем, марку которого приводят в ТУ, и сушат путем пропускания азота в течение 5-10 мин. Давление азота указывают в ТУ.
8.3.3.2 Отсоединяют фильтродержатель от устройства для фильтрования. Помещают мембранный фильтр в фильтродержатель и присоединяют его к устройству для фильтрования.
Устройство для фильтрования закрепляют на штативе таким образом, чтобы под ним можно было разместить весы с приемным сосудом (флаконом из темного стекла).
8.3.4 Проведение испытания
Бутылку с пробой резиста осторожно переворачивают несколько раз, заливают содержимое бутылки в устройство для фильтрования и тщательно закрывают крышкой.
Количество пробы резиста указывают в ТУ.
Взвешивают пустой приемный сосуд с погрешностью, устанавливаемой в ТУ, и записывают данные в таблицу.
Подают азот в устройство для фильтрования резиста и начинают отсчет времени по секундомеру с момента падения первой капли резиста.
Массу приемного сосуда с резистом определяют в течение 11 мин с интервалом 1 мин с точностью ±1 с после начала отсчета и записывают в таблицу.
Прекращают подачу азота в устройство для фильтрования, открывают крышку, выливают остатки резиста, отсоединяют фильтродержатель, промывают растворителем до полного удаления всех видимых следов резиста.
Проводят два параллельных испытания.
8.3.5 Обработка результатов
Фильтруемость , г , вычисляют по формуле
, г , вычисляют по формуле (1) где - число параллельных измерений;
- число параллельных измерений; - фильтруемость одного измерения, вычисленного по формуле (2) где - масса резиста, отфильтрованного в момент времени =3 мин, г, вычисленная по формуле
- масса резиста, отфильтрованного в момент времени =3 мин, г, вычисленная по формуле ; (3) - масса резиста, отфильтрованного в момент времени =10 мин, г, вычисленная по формуле ; (4) - масса пустого приёмного сосуда, г; - массы приёмного сосуда с резистом в моменты времени =2, 3, 4, 9, 10, 11 мин. Погрешность определения фильтруемости не должна превышать значения, устанавливаемого в ТУ.
8.3.6 Результаты испытаний считают положительными, если фильтруемость резиста соответствует нормам, устанавливаемым в ТУ.
8.4 Контроль кинематической вязкости
8.4.1 Кинематическую вязкость резистов определяют по ГОСТ 33 с дополнениями и уточнениями, приводимыми в ТУ.
Для контроля применяют чистые сухие вискозиметры по ГОСТ 10028.
Тип вискозиметра и диаметр капилляра указывают в ТУ в зависимости от требуемой точности измерений и вязкости контролируемого резиста.
8.4.2 Результаты испытаний считают положительными, если кинематическая вязкость резиста соответствует нормам, устанавливаемым в ТУ.
Примечание - Для дальнейших испытаний эта порция резиста непригодна.
8.5 Контроль массовой доли воды
Массовую долю воды определяют в соответствии с ГОСТ 14870 (раздел 2) с дополнениями и уточнениями, приводимыми в ТУ.
Состав используемого растворителя и способ его подготовки устанавливают в ТУ.
Результаты считают положительными, если массовая доля воды в резисте соответствует нормам, устанавливаемым в ТУ.
8.6 Контроль внешнего вида пленки резиста
Внешний вид пленки резиста оценивают визуально при рассмотрении под разными углами в неактиничном свете пластин, подготовленных согласно 8.1.6 и ТУ.
8.6.1 Результаты испытания считают положительными, если внешний вид пленки резиста соответствует требованиям, устанавливаемым в ТУ.
8.7 Контроль количества микровключений в пленке резиста
Метод основан на визуальном осмотре пленки фоторезиста в колиминированном свете и выявлении дефектов типа “светящиеся точки”.
8.7.1 Применяемое оборудование (устройство фильтрования, ИК-печь - печь с нагревом инфракрасным излучением, линию обработки пластин, осветитель), посуду, реактивы указывают в ТУ.