7.2.3.1 Квалификационные испытания проводит комиссия по приемке установочной партии резистов в соответствии с порядком, установленным стандартами на материалы электронной техники.
7.2.3.2 Общий состав квалификационных испытаний, деление на подгруппы, последовательность проведения испытаний в пределах каждой подгруппы приведены в таблице 3.
Таблица 3 - Состав квалификационных испытаний
| Обозна- чение подгруппы испытаний | Обозна- чение вида испы- таний | Наименование вида и последовательность проведения испытаний | Номер пункта | Примечание | |
| техни- ческих требо- ваний | методов контроля | ||||
| КА1 | А1.1 | Проверка внешнего вида резиста | 5.2.1 | 8.2 | |
| КА2 | А2.1 | Контроль фильтруемости | 5.3.6 | 8.3 | |
| А2.2 | Контроль кинематической вязкости | 5.3.7 | 8.4 | ||
| А2.3 | Контроль массовой доли воды | 5.3.3 | 8.5 | ||
| КАЗ | А3.1 | Проверка внешнего вида пленки резиста | 5.2.2 | 8.6 | |
| А3.2 | Контроль количества микровключений в пленке резиста | 5.3.13 | 8.7 | ||
| А3.3 | Контроль толщины пленки резиста | 5.3.8 | 8.8 | ||
| А3.4 | Контроль контраста проявления пленки резиста | 5.3.14 | 8.9 | ||
| А3.5 | Контроль чувствительности пленки фоторезиста к актиничному световому потоку и гамма-контраста пленки резиста | 5.3.11 | 8.15 | ||
| А3.6 | Контроль чувствительности пленки электронорезиста к потоку электронов | 5.3.12 | 8.17 | ||
| А3.7 | Контроль разрешающей способности пленки резиста | 5.3.10 | 8.16 | ||
| А3.8 | Контроль устойчивости пленки резиста в проявителе | 5.3.15 | 8.18 | ||
| КА4 | А4.1 | Проверка внешнего вида потребительской тары и ее маркировки | 5.6.3 | 8.25.1 | |
| КС1 | С1.1 | Контроль массовой доли сухого остатка | 5.3.2 | 8.10 | |
| С1.2 | Контроль массовой доли НХД-групп в пересчете на сухой остаток | 5.3.4 | 8.11 | ||
| С1.3 | Контроль массовой доли микропримесей металлов | 5.3.5 | 8.12 | ||
| КС2 | С2.1 | Испытание на сохраняемость | 5.5 | 8.24 | |
| KR1 | R1.1 | Контроль микронеровностей пленки резиста | 5.3.9 | 8.13 | При травлении смесью концентрированных кислот |
| R1.2 | Контроль спектральной чувствительности пленки резиста | 5.3.16 | 8.14 | ||
| R1.3 | Контроль теплостойкости проявленного рельефа пленки резиста | 5.3.17 | 8.19 | ||
| R1.4 | Контроль способности фоторезистной маски обеспечивать защиту поверхности в травителе для кремния | 5.3.18 | 8.20 | ||
| R1.5 | Контроль адгезии пленки резиста к подложке | 5.3.19 | 8.21 | ||
| R1.6 | Контроль широты процесса экспонирования пленки резиста | 5.3.20 | 8.22 | ||
| R1.7 | Контроль линейности маски фоторезиста | 5.3.21 | 8.23 | ||
| KR2 | R2.1 | Проверка габаритных размеров тары и ее маркировки | 5.6 | 8.25.1, 8.25.2 | |
| R2.2 | Испытание упаковки на прочность | 5.6.1 | 8.25.3 | ||
| R2.3 | Испытание упаковки на пониженное атмосферное давление | 5.6.1 | 8.25.4 | ||
Состав квалификационных испытаний резистов конкретных марок и их последовательность устанавливают в ТУ с учетом назначения резиста и особенностей его применения.
7.2.3.3 Отбор проб и комплектование предъявительской выборки для проведения квалификационных испытаний проводит комиссия по приемке установочной партии резиста по правилам, установленным ГОСТ 3885 и стандартами на резисты.
7.2.3.4 Квалификационные испытания начинают с проверки резиста по подгруппам КА1-КА4.
При получении положительных результатов проверок приступают к проверкам по другим подгруппам.
При получении отрицательных результатов по подгруппам КА1-КА4 комиссия анализирует характер дефектов резиста и причины их появления и принимает решение о возможности проверки резиста по остальным подгруппам испытаний.
Испытание по подгруппе KR1 проводят после получения положительных результатов испытаний по подгруппе КС1.
Примечание - Проба резиста, используемая для проверки его внешнего вида, для проведения дальнейших проверок и испытаний непригодна.
7.2.3.5 При получении отрицательных результатов по какой-либо из подгрупп KR1, KR2 испытания по другой подгруппе не прекращают, продолжая их до полного завершения.
7.2.3.6 Результаты квалификационных испытаний считают положительными, если получены положительные результаты по всем подгруппам испытаний; результаты считают отрицательными, если получены отрицательные результаты хотя бы по одной подгруппе испытаний.
7.2.3.7 При отрицательных результатах испытаний комиссия устанавливает причины появления некачественного резиста, дефектов его упаковки и маркировки. По результатам анализа осуществляют мероприятия по устранению и предупреждению выявленных дефектов в производственном процессе и приведению качества резиста, его упаковки и маркировки в соответствие с требованиями настоящего стандарта и ТУ.
После осуществления этих мероприятий проводят повторные квалификационные испытания на новой выборке. Необходимый объем повторных квалификационных испытаний, обеспечивающих оценку эффективности проведенных мероприятий, определяет комиссия.
По результатам повторных испытаний принимают окончательное решение о готовности производства к выпуску данной марки резиста.
7.2.3.8 Если в результате приемки резиста или при получении рекламаций от потребителей будут выявлены дефекты по показателям качества, установленным в настоящем стандарте и ТУ, но не проверяемым при приемосдаточных или периодических испытаниях, изготовитель при участии ПЗ проводит анализ причин появления дефектов, на основе которого определяет и реализует мероприятия по их предотвращению, и, при необходимости, совместно с заказчиком принимает решение о включении соответствующих проверок в состав приемосдаточных или периодических испытаний с внесением необходимых изменений в ТУ.
7.2.4 Приемосдаточные испытания
7.2.4.1 Резисты для приемки предъявляют партиями.
Масса партии, представленная на приемку, должна быть в пределах норм, устанавливаемых в ТУ.
7.2.4.2 На приемку ПЗ (при приемке заказчиком) предъявляют партии резиста, прошедшие предъявительские испытания и принятые СКК.
Каждую партию резиста предъявляют на приемку ПЗ (при приемке заказчиком) извещением, подписанным руководством предприятия-изготовителя и начальником СКК, с приложением протокола предъявительских испытаний.
В извещении должны быть указаны:
- марка резиста;
- масса резиста в партии;
- месяц и год изготовления;
- номера сопроводительных листов;
- дата предъявления к приемке.
В извещении должны содержаться данные, подтверждающие соответствие резиста стандартам и ТУ, приведенные по положительным результатам проверки СКК.
7.2.4.3 Для контроля качества резиста формируют случайные выборки упаковочных единиц из предъявленной партии и отбирают из них пробы по правилам, установленным ГОСТ 3885.
7.2.4.4 Точечные пробы жидкого резиста отбирают чистым и сухим пробоотборником из темного стекла, предохраняя резист от воздействия актиничного освещения и/или излучений, попадания влаги, паров кислот и щелочей, пыли и других загрязняющих веществ и применяя средства индивидуальной защиты.
7.2.4.5 Точечные пробы соединяют и тщательно перемешивают. Масса полученной средней пробы должна быть достаточной для проведения испытаний, предусматриваемых ТУ для приемосдаточных испытаний и арбитражных проверок. Конкретное значение массы средней пробы устанавливают в ТУ.
7.2.4.6 Среднюю пробу делят на две части:
- одну часть средней пробы используют для проведения приемосдаточных испытаний;
- вторую часть сохраняют в течение гарантийного срока для проведения арбитражных проверок при возникновении разногласий в оценке качества резиста между изготовителем и потребителем.
Арбитражную пробу, опечатанную СКК и ПЗ (при приемке заказчиком), хранят в цехе-изготовителе в условиях, указываемых в ТУ.
7.2.4.7 Пробы помещают в чистые сухие бутылки из темного стекла с навинчивающимися крышками, снабженными герметизирующими прокладками из полимерного материала.
Бутылки обертывают светонепроницаемой бумагой. На каждую бутылку и обертку из светонепроницаемой бумаги наклеивают этикетку с указанием предприятия - изготовителя резиста, марки резиста, номера и массы партии, номера или вида пробы, фамилии контролера и даты отбора пробы.
Отобранные пробы регистрируют в журнале, в котором записывают все данные, имеющиеся на этикетке.
7.2.4.8 При приемке ПЗ отбор проб и получение средней пробы осуществляют под наблюдением ПЗ.
7.2.4.9 Общий состав приемосдаточных испытаний, деление на подгруппы, последовательность проведения испытаний в пределах каждой подгруппы приведены в таблице 4.
Таблица 4 - Состав приемосдаточных испытаний
| Обозна- чение подгруппы испытаний | Обозна- чение вида испытаний | Наименование вида и последовательность проведения испытаний | Номер пункта | |
| технических требований | методов контроля | |||
| А1 | А1.1 | Проверка внешнего вида резиста | 5.2.1 | 8.2 |
| А2 | А2.1 | Контроль фильтруемости | 5.3.6 | 8.3 |
| А2.2 | Контроль кинематической вязкости | 5.3.7 | 8.4 | |
| А2.3 | Контроль массовой доли воды | 5.3.3 | 8.5 | |
| A3 | А3.1 | Проверка внешнего вида пленки резиста | 5.2.2 | 8.6 |
| А3.2 | Контроль количества микровключений в пленке резиста | 5.3.13 | 8.7 | |
| А3.3 | Контроль толщины пленки резиста | 5.3.8 | 8.8 | |
| А3.4 | Контроль контраста проявления пленки резиста | 5.3.14 | 8.9 | |
| А3.5 | Контроль чувствительности пленки фоторезиста к актиничному световому потоку и гамма-контраста пленки резиста | 5.3.11 | 8.15 | |
| А3.6 | Контроль чувствительности пленки электронорезиста к потоку электронов | 5.3.12 | 8.17 | |
| А3.7 | Контроль разрешающей способности пленки резиста | 5.3.10 | 8.16 | |
| А3.8 | Контроль устойчивости пленки резиста в проявителе | 5.3.15 | 8.18 | |
| А4 | А4.1 | Проверка внешнего вида потребительской тары и ее маркировки | 5.6.3 | 8.25.1 |
Состав приемосдаточных испытаний резистов конкретных марок и их последовательность устанавливают в ТУ с учетом назначения резиста и особенностей его применения.
7.2.4.10 Результаты приемосдаточных испытаний считают положительными, если получены положительные результаты по всем подгруппам испытаний.
Результаты испытаний считают отрицательными, если получены отрицательные результаты хотя бы по одной подгруппе испытаний. В этом случае проводят повторные испытания в полном объеме приемосдаточных испытаний на средней пробе, отобранной из удвоенного количества упаковочных единиц случайной выборки.
Примечание - При получении отрицательных результатов по подгруппе А4 повторные испытания проводят только по этой подгруппе.
7.2.4.11 Если при повторных испытаниях будут получены положительные результаты по всем подгруппам испытаний, то партию резиста считают выдержавшей приемосдаточные испытания. Если при повторных испытаниях получены отрицательные результаты хотя бы по одной подгруппе испытаний, то вся партия резиста бракуется и возвращается изготовителю без права дальнейшего предъявления.
7.2.4.12 Изготовитель совместно с СКК и ПЗ (при приемке заказчиком) проводит анализ забракованной продукции и при необходимости разрабатывает и осуществляет мероприятия по устранению причин забракования.
7.2.4.13 Приемку резиста приостанавливают, если из 10 последовательно предъявленных партий три партии были возвращены изготовителю.