В этом случае изготовитель разрабатывает и согласовывает с СКК и ПЗ необходимые мероприятия по повышению качества резиста.
После выполнения мероприятий и получения положительных результатов приемосдаточных испытаний на трех последовательно предъявленных партиях приемка возобновляется.
7.2.4.14 Результаты приемосдаточных испытаний оформляют протоколом, подписанным лицами, проводившими испытания.
7.2.4.15 Партию резиста, прошедшую приемосдаточные испытания, упаковывают, ставят клеймо СКК и ПЗ (при приемке заказчиком) и сдают на склад готовой продукции.
7.2.5 Периодические испытания
7.2.5.1 Периодические испытания по группе С1 проводят на пробе, отобранной от любой партии резиста, изготовленной после начала предшествующих периодических испытаний и принятых по результатам приемосдаточных испытаний.
Периодические испытания по группе С2 проводят на пробе, отобранной от одной из последних партий резиста, изготовленной после начала предшествующих периодических испытаний и принятых по результатам приемосдаточных испытаний.
Порядок отбора проб для испытаний - в соответствии с ГОСТ 3885.
7.2.5.2 Массу средней пробы, необходимой для проведения периодических испытаний, устанавливают в ТУ.
7.2.5.3 Периодичность испытаний - один раз в 6 мес.
Допускается по согласованию с заказчиком устанавливать иную периодичность испытаний.
7.2.5.4 Общий состав периодических испытаний, деление на подгруппы, последовательность проведения испытаний в пределах каждой подгруппы приведены в таблице 5.
Таблица 5 - Состав периодических испытаний
| Обозна- чение подгруппы испытаний | Обозна- чение вида испытаний | Наименование вида и последовательность проведения испытаний | Номер пункта | |
| технических требований | методов контроля | |||
| С1 | С1.1 | Контроль массовой доли сухого остатка | 5.3.2 | 8.10 |
| С1.2 | Контроль массовой доли НХД-групп в пересчете на сухой остаток | 5.3.4 | 8.11 | |
| С1.3 | Контроль массовой доли микропримесей металлов | 5.3.5 | 8.12 | |
| С2 | С2.1 | Испытание на сохраняемость | 5.5 | 8.24 |
В состав периодических испытаний резистов конкретных марок могут быть включены другие виды испытаний, наиболее чувствительные к изменению технологических режимов производства.
7.2.5.5 Результаты периодических испытаний считают положительными, если получены положительные результаты по всем подгруппам и видам испытаний.
7.2.5.6 При получении отрицательных результатов испытаний по подгруппе С1 приемку и отгрузку партий резиста приостанавливают.
Изготовитель совместно с СКК и ПЗ (при приемке заказчиком) проводит анализ и устанавливает причины неудовлетворительных результатов испытаний.
Если в результате анализа будет установлено, что неудовлетворительные результаты испытаний связаны с качеством резиста, то все ранее принятые и неотгруженные партии резиста возвращают изготовителю.
Годные партии могут быть предъявлены к приемке с проверкой СКК и ПЗ (при приемке заказчиком) по ПИ, согласованной с СКК и ПЗ (при приемке заказчиком).
На основании анализа предприятие-изготовитель разрабатывает, согласовывает с СКК и ПЗ и проводит мероприятия по устранению причин забраковывания.
После осуществления мероприятий проводят новые периодические испытания по этой подгруппе.
При получении удовлетворительных результатов испытаний приемку резиста возобновляют.
7.2.5.7 Если в результате анализа причин появления некачественного резиста выявится нестабильный характер технологического процесса его производства, может быть принято решение о переносе соответствующих испытаний из категории периодических в приемосдаточные до получения положительных результатов приемосдаточных испытаний на пяти партиях подряд.
7.2.5.8 Для оценки результатов испытаний по подгруппе С2 по окончании установленного срока хранения проводят проверку резиста в объеме приемосдаточных испытаний.
7.2.5.9 При получении отрицательных результатов испытаний резиста по подгруппе С2 изготовитель разрабатывает и согласовывает с СКК и ПЗ (при приемке заказчиком) план мероприятий по установлению выявленных причин недостаточной сохраняемости резиста и повышению срока его сохраняемости до требований ТУ.
Одновременно изготовитель определяет фактический срок сохраняемости партии резиста текущего выпуска и сообщает его всем потребителям для принятия совместного решения о необходимости возврата поставленных партий резиста.
После реализации мероприятий СКК совместно с ПЗ (при приемке заказчиком) проводят испытания на сохраняемость для подтверждения заданного срока сохраняемости.
При получении положительных результатов испытаний на сохраняемость они информируют потребителей о достижении заданного срока сохраняемости.
7.2.5.10 Результаты испытаний оформляют протоколом.
7.2.6 Типовые испытания
7.2.6.1 Типовые испытания проводят по правилам, установленным в НД на материалы электронной техники и/или заказчиком.
8 Методы контроля
8.1 Общие положения
8.1.1 Испытания резистов проводят в соответствии с общими указаниями ГОСТ 27025.
8.1.2 Испытания резистов проводят в нормальных климатических условиях, определяемых следующими значениями климатических факторов:
- температура воздуха от 15 °С до 35 °С;
- относительная влажность от 45% до 75%;
- атмосферное давление от 86 до 106 кПа.
Примечание - При температуре выше 30 °С относительная влажность воздуха не должна превышать 70%.
8.1.3 Отбор проб и испытания фоторезиста следует проводить при неактиничном освещении, оберегая его от воздействия дневного света, света люминесцентных ламп и ламп накаливания, если иные условия испытаний не установлены в соответствующем методе.
Неактиничным является освещение, фильтрованное через оранжевое или красное органическое стекло по ГОСТ 17622 толщиной 4-5 мм или полученное иным способом, устанавливаемым в ТУ.
Требования к освещению при контроле электронорезистов устанавливают в ТУ.
8.1.4 При испытаниях резистов следует применять методы, приведенные в настоящем разделе.
Примечание - Допускается по согласованию с заказчиком и/или потребителем применять иные методы контроля резистов, в том числе установленные стандартами зарубежных объединений и фирм (SEMI, ASTM и др.).
8.1.5 Средства измерений и испытательная аппаратура должны обеспечивать точность измерений, испытаний и расчетов, установленную в настоящем стандарте и ТУ.
8.1.6 Для контроля пленки резиста ее формируют на специально подготовленных пластинах, используемых в качестве подложки.
Материал пластин, требования к подготовке их поверхности для нанесения резиста, способы и режимы формирования пленки резиста определенной толщины на пластинах, применяемые оборудование, оснастку и используемые вспомогательные материалы указывают в ТУ.
8.2 Контроль внешнего вида
Внешний вид резиста контролируют визуально в проходящем дневном свете или свете люминесцентных ламп дневного или голубого свечения при освещенности не менее 200 лк.