3.1.17 адгезия пленки резиста: Свойство резиста, характеризующее способность слоя резиста препятствовать проникновению к подложке жидких реагентов, используемых в процессах литографии.
3.1.18 оптимальная экспозиция: Время, при котором получают неискаженные геометрические формы элементов, выполненных в пределах допуска на их размеры.
| 3.1.19 признак продукции: Качественная или количественная характеристика любых свойств или состояний продукции. [ГОСТ 15467-79, статья 53] |
| 3.1.20 параметр продукции: Признак продукции, количественно характеризующий любые ее свойства и состояния. [ГОСТ 15467-79, статья 6] |
| 3.1.21 контролируемая партия продукции: Определенное число единиц продукции, материала и услуг, собранных вместе и представленных для испытаний. Примечание - Контролируемая партия может состоять из нескольких производственных партий или частей производственных партий. [ГОСТ Р 50779.11-2000, статья 1.3.5] |
3.1.22 контролируемая партия резиста: Резист одной марки, произведенный за один технологический цикл и оформленный одним сопроводительным документом.
3.1.23 проба: Количество нештучной продукции, отобранное из контролируемой совокупности для принятия решения.
3.1.24 точечная проба резиста: Одна из проб, взятых одновременно в разных точках и на разных уровнях объема резиста.
3.1.25 средняя проба: Проба требуемого объема или массы, необходимой для проведения испытаний, полученная определенным способом из объединенной пробы после ее перемешивания.
3.1.26 объединенная проба: Проба, состоящая из нескольких точечных проб.
3.2 В настоящем стандарте применяют следующие сокращения:
- ИК-печь - печь с нагревом инфракрасным излучением;
- ИС - интегральные микросхемы;
- НХД-группа - нафтохинондиазидная группа;
- ОТУ - общие технические условия;
- ПЗ - представитель заказчика;
- ПИ - программа испытаний;
- ПП - полупроводниковые приборы;
- СК - система качества;
- СКК - служба контроля качества;
- ТД - технологическая документация;
- ТЗ - техническое задание.
4 Классификация и основные параметры
4.1 Классификация
4.1.1 Резисты относятся к подклассу вспомогательных химических материалов класса специальных материалов электронной техники, непосредственно контактирующих в процессе производства (литографии) с деталями изделий электронной техники (ПП и ИС).
4.1.2 По чувствительности к виду излучения применяемые резисты подразделяют на:
- фоторезисты;
- электронорезисты.
4.1.3 По реакции на воздействие излучения резисты подразделяют на:
- позитивные;
- негативные.
4.2 Основные параметры резистов должны соответствовать нормам, установленным в ТУ на резисты конкретных марок.
К основным параметрам резистов относят:
- чувствительность к излучению;
- разрешающую способность;
- устойчивость к проявителю.
4.3 Условное обозначение резиста при заказе и в технической документации на ИС и ПП должно включать обозначения:
- вида резиста, определяемого используемым излучением при экспонировании и реакцией на его воздействие;
- марки резиста, характеризуемой составом параметров и их значениями;
- ТУ на марку резиста согласно ГОСТ 2.114.
Примеры условных обозначений:
Фоторезист (Ф), позитивный (П), марки 9120-1, поставляемый по ТУ 2496-121-00210134-96:
ФП-9120-1 ТУ 2496-121-00210134-96
Фоторезист (Ф), негативный (Н), марки 788, поставляемый по ТУ 2496-36-00210134-95:
ФН-788 ТУ 2496-36-00210134-95
Электронорезист (ЭР), позитивный (П), марки 51, поставляемый по ТУ 2496-153-53126462-98:
ЭРП-51 ТУ 2496-153-53126462-98
Электронорезист (ЭР), негативный (Н), марки 16, поставляемый по ТУ 2496-221-53126462-99:
ЭРН-16 ТУ 2496-221-53126462-99
5 Технические требования
5.1 Общие требования
5.1.1 Резисты должны быть изготовлены в соответствии с требованиями настоящего стандарта и ТУ на резисты конкретных марок по ТД, утвержденной в установленном порядке.