5.1.2 Перед нанесением слоя резиста подложка должна быть подготовлена в соответствии с требованиями ТД.
5.1.3 Нанесение резиста должно производиться в полном соответствии с техническими требованиями и режимами, устанавливаемыми в ТУ или инструкции по применению.
5.2 Требования к внешнему виду
5.2.1 Резист должен представлять собой прозрачную жидкость без осадка, не содержащую посторонних включений.
Цвет резиста должен быть одинаковым по всему объему жидкости и соответствовать цвету, устанавливаемому в ТУ.
5.2.2 Пленка резиста, нанесенная на подложку, должна быть сплошной, прозрачной, блестящей, без разрывов, пузырей, отслоений и вздутий.
5.3 Требования к параметрам резистов
5.3.1 Состав параметров резистов, контролируемых в процессе приемки и поставки, устанавливают в ТУ в соответствии с таблицей 1.
Таблица 1 - Состав параметров резистов
| Параметр резиста | Единица измерения | Способ задания норм | Применение |
| Массовая доля сухого остатка | % | ДП | Все резисты |
| Массовая доля воды | % | ВП | Кроме водорастворимых фоторезистов |
| Массовая доля НХД-групп в пересчете на сухой остаток | % | ДП | Фоторезисты на основе НХД-групп |
| Массовая доля микропримесей металлов | % | ВП | Все резисты |
| Фильтруемость | г | ВП | То же |
| Кинематическая вязкость | мм /с | ДП | “ |
| Толщина пленки | мкм | HP | “ |
| Количество микровключений в пленке резиста | шт. | ВП | “ |
| Микронеровность поверхности пленки | | ВП | “ |
| Разрешающая способность пленки | мкм | HP | Фоторезисты |
| Чувствительность пленки к актиничному световому потоку | мДж/см | ВП | То же |
| Чувствительность пленки к потоку электронов | Кл/см | ВП | Электронорезисты |
| Коэффициент контрастности (гамма-контраст) | - | HP | Фоторезисты |
| Спектральная чувствительность пленки | нм | ДП | То же |
| Устойчивость плёнки в проявителе | с | НП | Все резисты |
| Способность маски фоторезиста обеспечивать защиту поверхности подложки в травителе для кремния | с | НП | При травлении смесью концентрированных кислот |
| Широта процесса экспонирования пленки | мДж/см | ДП | Все резисты |
| Линейность маски | мкм | ВП | То же |
| Теплостойкость проявленного рельефа пленки | - | - | “ |
| Адгезия пленки к подложке | - | - | “ |
| Примечание - В графе “Способ задания норм” приняты обозначения: ДП-двусторонний предел задания нормы; ВП - верхний предел задания нормы; НП - нижний предел задания нормы; HP - номинальное значение с двухсторонним допускаемым отклонением. | |||
Необходимость включения конкретных параметров в ТУ определяет разработчик резиста и его заказчик в зависимости от требуемых свойств резиста и предполагаемой области его применения.
При необходимости состав параметров может быть дополнен другими параметрами, характеризующими свойства конкретных марок резиста и определяющими возможность их применения в заданных условиях.
5.3.2 Массовая доля сухого остатка должна быть в пределах норм, устанавливаемых в ТУ.
5.3.3 Массовая доля воды в резисте не должна превышать 0,5%. Конкретное значение массовой доли воды устанавливают в ТУ.
5.3.4 Массовая доля нафтохинондиазидов в фоторезистах на основе НХД-групп должна быть в пределах норм, устанавливаемых в ТУ.
5.3.5 Массовая доля микропримесей металлов в резисте должна быть не более значений, устанавливаемых в ТУ из ряда: .
. Состав микропримесей и их массовую долю устанавливают в ТУ.
5.3.6 Фильтруемость резиста должна быть не более значений, устанавливаемых в ТУ.
5.3.7 Кинематическая вязкость резиста при задаваемой в ТУ температуре должна быть в пределах норм, устанавливаемых в ТУ.
5.3.8 Толщину пленки резиста, сформированной на подложке, устанавливают в ТУ. Предельные отклонения от номинальных значений толщины пленки должны соответствовать установленным в таблице 2.
Таблица 2 - Предельные отклонения толщины пленки резиста
В микрометрах
| Вид резиста | Толщина пленки | Предельное отклонение |
| Фоторезист | От 0,4 до 0,9 включ. | 0,05 |
| Св. 0,9 “ 2,0 “ | 0,10 | |
| “ 2,0 | 0,20 | |
| Электронорезист | От 0,2 до 0,4 включ. | 0,02 |
| Св. 0,4 “ 0,8 “ | 0,05 |
5.3.9 Микронеровность поверхности пленки фоторезиста должна быть не более 100 .
. 5.3.10 Разрешающая способность пленки резиста при заданном номинальном значении ее толщины должна соответствовать значениям, устанавливаемым в ТУ.
5.3.11 Чувствительность пленки фоторезиста к актиничному световому потоку, указываемому в ТУ, должна быть не более 500 мДж/см .
. Коэффициент контрастности (гамма-контраст) пленки фоторезиста должен соответствовать значениям, устанавливаемым в ТУ.
5.3.12 Чувствительность пленки электронорезиста к потоку электронов с энергией, указываемой в ТУ, должна быть не более значений, устанавливаемых в ТУ из ряда: Кл/см .
Кл/см . 5.3.13 Количество микровключений в пленке фоторезиста должно быть не более значений, устанавливаемых в ТУ.
5.3.14 Контраст пленки резиста при проявлении ее в указываемых в ТУ проявителях и устанавливаемых режимах проявления должен быть не менее значений, устанавливаемых в ТУ для заданной толщины пленки.
5.3.15 Устойчивость пленки резиста в проявителе с химическим составом, указываемым в ТУ, должна быть не менее значений, устанавливаемых в ТУ для определенных толщин пленки.
5.3.16 Спектральная чувствительность пленки фоторезиста должна быть в пределах значений, устанавливаемых в ТУ.
5.3.17 Проявленный рельеф пленки фоторезиста должен сохранять свою конфигурацию в допустимых пределах при повышении температуры.
Допустимые изменения формы рельефа, а также размеры промежутков между элементами схемы, значения температуры и время ее воздействия устанавливают в ТУ.
5.3.18 Способность фоторезистной маски обеспечивать защиту поверхности подложки в травителе для кремния должна быть не менее времени, устанавливаемого в ТУ.
5.3.19 Адгезия пленки резиста к подложке должна соответствовать требованиям и нормам, устанавливаемым в ТУ.
5.3.20 Широта процесса экспонирования пленки должна соответствовать требованиям и нормам, устанавливаемым в ТУ.
5.3.21 Линейность маски фоторезиста должна соответствовать требованиям и нормам, устанавливаемым в ТУ.
5.4 Требования к исходным материалам
5.4.1 В ТУ на резисты должны быть указаны марки материалов, используемых при изготовлении резистов, и обозначение документов на их поставку.
5.4.2 Качество исходных материалов должно быть подтверждено клеймами или протоколами СКК и ПЗ (при его наличии).
5.5 Требования к сохраняемости
5.5.1 Срок сохраняемости резистов при хранении их в условиях, допускаемых настоящим стандартом и ТУ на резисты конкретных марок, должен быть не менее 6 мес.
Конкретный срок сохраняемости устанавливают в ТУ.
5.5.2 Параметры резистов в течение срока сохраняемости при хранении их в условиях, допускаемых настоящим стандартом и ТУ на резисты конкретных марок, должны соответствовать нормам при приемке и поставке, установленным в 5.3.
5.6 Требования к упаковке и маркировке
5.6.1 Упаковка и маркировка резистов должны соответствовать требованиям ГОСТ 3885 с дополнениями и уточнениями, приведенными в 5.6.2-5.6.12.
5.6.2 Резисты упаковывают в потребительскую и транспортную тару.
5.6.3 В качестве потребительской тары используют бутылки из темного стекла с повышенными светозащитными свойствами, с навинчивающимися крышками и прокладками из полимерного материала, обеспечивающими герметичность упаковки: 3т-5; 3т-8 по ГОСТ 3885.
5.6.4 Бутылки, применяемые для упаковывания резистов, должны быть чистыми и сухими. Указания по подготовке бутылок к расфасовке резистов и методы контроля их чистоты и отсутствия влаги должны быть приведены в ТД на резисты.