├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│ │- оптические приборы и устройства│ │ │
│ │прочие: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 41 000 0│- - для проверки полупроводниковых│ шт │ 0 │
│ │пластин или устройств или для│ │ │
│ │проверки фотомасок или фотошаблонов,│ │ │
│ │используемых в производстве│ │ │
│ │полупроводниковых приборов │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 49 │- - прочие: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 49 100 0│- - - проекторы профильные │ шт │ 0 │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 49 900 0│- - - прочие │ шт │ 0 │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 │- приборы, устройства и машины│ │ │
│ │прочие: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│ │- - электронные: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│ │- - - для измерения или контроля│ │ │
│ │геометрических величин: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 320 0│- - - - для проверки│ шт │ 0 │
│ │полупроводниковых пластин или│ │ │
│ │устройств или для проверки фотомасок│ │ │
│ │или фотошаблонов, используемых в│ │ │
│ │производстве полупроводниковых│ │ │
│ │приборов │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 340 0│- - - - прочие │ шт │ 0 │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 380 0│- - - прочие │ шт │ 0 │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│ │- - прочие: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 910 0│- - - для измерения или контроля│ шт │ 0 │
│ │геометрических величин │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 80 980 0│- - - прочие │ шт │ 0 │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 90 │- части и принадлежности: │ │ │
├─────────────┼────────────────────────────────────┼──────┼──────────────┤
│9031 90 200 0│- - для аппаратуры подсубпозиции │ - │ 0 │
│ │9031 41 000 0 или для оптических│ │ │
│ │приборов и устройств для измерения│ │ │
│ │поверхностного загрязнения частицами│ │ │
│ │полупроводниковых пластин│ │ │
│ │подсубпозиции 9031 49 900 0 │ │ │